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集成电路百级无尘车间设计施工要求

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集成电路百级无尘车间设计施工要求

发布日期:2014-08-07 作者:百级无尘车间 点击:

  集成电路百级无尘车间是为了满意半导体制作技能需求的洁净室,该百级无尘车间对环境洁净度、温湿度、振荡、ESD、AMC操控等都有必定的请求。有关于其他工业洁净室,集成电路制作百级无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度操控精度高级特色。百级无尘车间

  依据洁净室车间空气循环特色能够将洁净室分为三种类型:循环空调机合作高效送风口体系、循环风机合作湿式密封体系和FFU循环体系。

  第一种方式在小规模低等级请求的洁净室车间规划中被广泛应用,关于大面积高级级的洁净车间则存在运转本钱过高、占用空间过大等缺陷。

  第二种方式的规划能够满意集成电路制作百级无尘车间大面积高级级的请求,但运转本钱较高,并且洁净室风速、风量调节艰难,体系升级改造艰难,因而操作灵活性很低。

  第三种的FFU循环体系不只节约运转空间、洁净度安全性高、运转本钱低,并且操作灵活性很高,能够在不影响出产的情况下随时进行体系升级和调整,这些都能极好地满意半导体制作的需求,因而在半导体制作业FFU循环体系逐步变成最主要的净化规划方案。

  FFU循环体系的特色是:全部洁净室由静压层、技能层、技能辅佐层和回风通道构成,由FFU供给循环空气的动力,将新风、循环风混合后经过超高效过滤器送入技能层和技能辅佐层,静压层有关于技能层为负压。此外,还有出产辅佐区为集成电路制作厂务设备区域,包含电力供给、气体和化学品供给、超纯水供给等。

  集成电路制作对百级无尘车间环境的操控有较为严厉的请求。不一样的技能制程对洁净度的请求也各不相同,例如光刻请求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只请求1000级的环境即可。

  别的,集成电路制作洁净厂房对噪声、微振、照度等都有有关的规定和请求,尤其是振荡的操控,在洁净室的修建结构规划上就要有所请求。

  好的洁净车间规划不只能节约能源、下降运转本钱、下降人力投入,并且能够给出产供给安全可靠的确保。在3种洁净体系中,FFU循环体系运转本钱最低,洁净度安全性最高,因而集成电路洁净厂房多选用FFU循环体系。而洁净度请求越高,温湿度操控精度越高则洁净室出资和运转本钱越高,因而在大环境洁净度或温湿度请求相对较低的情况下,将一些要害的技能设备安置在较高洁净度或温湿度操控区域内是集成电路制作洁净厂房的规划趋势。

  集成电路制作是高能耗的产业,而洁净空调体系的能耗则占其间的30%以上,因而节能安全的洁净室规划和各种热能回收规划将是将来的发展方向。

  跟着集成电路制作技能的不断升级,干流大厂现已进入了纳米年代,集成电路制作洁净厂房的规划缔造和节能立异也需求不断提高,为先进制程商品出产供给保证。


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